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就在这个时候有人拿过来一些白大褂。
几人换好白大褂,戴好帽子进入了房间……当然并不是所有人都进去了。
……
空调不断的抽离空气中灰尘颗粒……李红军则站在光刻机旁,启动机器,当机器启动成功,他则看向了袁枫:“首先,我们需要设定好曝光时间、光源强度等关键参数。这些参数将直接影响到产品的最终质量和精度。”
袁枫点点头,他知道这些都是至关重要的。他注意到控制面板上的显示屏各种数字,看来应该是光刻机在运行过程中的信息反馈。
李红军打开了光刻机的顶盖,露出了里面的晶圆平台。他小心翼翼地将一块晶圆放置在平台上并用夹具固定好。然后,他取出一个掩膜板,这是光刻过程中必不可少的部分,上面刻有电路图案的模板。
“这个掩膜板是我们自己测试用的,芯片工艺一般,不过只要图案将通过光源投射到晶圆上,最终就形成我们需要的电路结构了。”
袁枫仔细观察着掩膜板上的图案,它们虽然微小但却精细至极。他知道,这些图案的精确性将直接决定最终芯片的性能。
一切准备就绪后,李红军按下了启动按钮……光刻机开始缓缓运转起来,发出低沉的轰鸣声。光刻的过程众人也是全程目击,随着时间的推移,机器的运行声音逐渐稳定下来。
经过一段时间的等待,光刻机终于完成了曝光过程。
李红军小心翼翼地取出晶圆,展示给袁枫等人看……他们看到晶圆上呈现出清晰、完整的电路图案,似乎看起来好像是一张地图。
李红军笑着道:“这就是我们青华大学的鸟瞰图。”
袁枫见状也非常的高兴,相信有了这台机器,自己的芯片工厂就可以正式筹备了。
……
众人离开了实验室来到了计算机系的会议室坐好。
袁枫看向了李红军:“李教授,不知道咱们生产的这台光刻机,预计的售价大概是多少钱一台?”
李红军想了想道:“这个,我还真就没想过……主要是咱们的光刻机成本并不低,加工精度非常的高,轻微的震动就能造成误差。如果要是卖的话,我想怎么也要十万元一台。”
袁枫闻言还以为听错了呢!急忙道:“你说多少钱?”
“十万元一台!怎么了?太贵了吗!没办法,光刻机的加工成本在那放着呢!十万块赚不了多少钱的。”
“我也没说贵,我的意思是这太便宜了吧!佳能的同类型光刻机,价格大概要四十万呢!而且还是米金。对了李教授,你刚刚说的是人民币吧!不是米金吧?”
“不是米金,我说的是人民币。其实十万这个价格我认为还可以了,虽然佳能的光刻机价格更贵,但人家的技术也确实是超过我们的。而且人家自动化的程度也比我们的要高。无论怎么样也要承认我们和人家的差距。毕竟人家佳能可是老牌光刻机生产企业。”
“这倒也是!那不知道李教授一年能生产几台光刻机?”
“几台!”李红军闻言苦笑了一下道:“一年能生产一台就不错了。这机器是精密仪器,加工精度非常的高,某些部件的加工精度要达到微米级。这意味着在加工过程中,轻微的震动、温度变化甚至是空气流动都可能对加工结果造成严重影响。
而且光刻机的制造涉及到多个学科的知识,如光学、机械、电子、化学等。每一个部件的设计、生产、加工、组装都没那么容易。尤其是光学系统,它是光刻机的核心部分,任何一点微小的误差都可能导致整个机器无法正常工作。所以生产光刻机比想象的要困难的多。”
“话虽如此,但两年时间实在是太长了。全球芯片产业现在进入了井喷式的大发展的黄金时期,咱们国家能否跟着国际先进半导体芯片制程工艺就要看这两年的。如果咱们的芯片生产再玩几年投产,到时候黄花菜都凉了,所以无论如何也必须提高光刻机的产量。起码一年光刻机的要能达到几十台以上才行。”
李红军听到这自然是吓了一跳:“几十台!那需要几十个团队才行。可能需要一千人才行!”
“多少人也要搞。光刻机是大国重器,无论如何也必须加快生产。而且咱们的光刻机虽然生产精度还行,但自动化程度太差,还需要手工介入。手工介入不但会增加停机时间,降低效率,还可能会增加灰尘,影响机器精度,小则损坏芯片,大则损坏光刻机,必须要重视起来才行,好能做到无人接触式生产。”
“这个……”李红军顿时感觉有些为难。自动化到如此地步,想想也知道是非常困难的。
袁枫则看到了王晋道:“王校长,我想和咱们学校联合开办一个光刻机企业。我来投资,学校出技术,股权我五一,学校四九。到时候我会以每台四十万人民币的价格采购咱们的光刻机。但咱们要提前说好,必须要将百分之五十的利润投入研发。因为任何先进科技必须都站在全球一线,否则就算投入市场也没有竞争力。”
“道理我倒是懂。但……”王晋说到这想了想道:“不知道袁总打算投入多少钱?”
“至少两千万。”